维萨拉 半导体干燥气体与晶圆测试中的露点测量精彩问答_中国工控网研讨会
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直播时间: 2026年04月28日 14:00-16:00

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演讲人

演讲人:韩玮琦

演讲标题: 维萨拉 半导体干燥气体与晶圆测试中的露点测量

演讲概述

在半导体制造过程中,“干燥”从来不是一个简单的环境条件,而是决定良率与稳定性的关键变量。从气体输送到晶圆探针测试,哪怕是极其微量的水分变化,都可能引发一系列问题:测试腔体结霜、测量误差增加、工艺波动甚至设备停机。

然而,在实际应用中,企业仍然面临诸多挑战:气体管线中的温度波动、复杂的连接结构、低流量环境以及采样过程本身,都可能让露点测量变得“不再可靠”。

在超干燥环境下,露点的微小变化意味着水分含量的巨大差异。例如,在-80°C露点条件下,气体中的水分含量仅为约0.5ppmv,相比普通办公室空气,干燥程度高出数万倍。

在这样的环境中:测量误差不再只是“数值偏差”,而可能直接影响工艺判断与产品质量。尤其是在晶圆探针测试过程中,若露点控制不当,测试腔体极易产生结霜,进而影响测试准确性与设备稳定性。

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