半导体制造工艺极其精密,对生产环境的要求也极为苛刻。即使是微小的环境波动,都可能对晶圆加工、光刻、蚀刻、沉积、封装等关键环节造成影响,进而降低产品良率,甚至导致设备故障和生产损失。因此,如何精准监测和控制制造设备的工艺环境,成为半导体行业持续优化生产效率和产品质量的核心挑战。
在本次研讨会上,维萨拉的专家将分享如何通过精准的环境监测技术,优化半导体制造过程中的关键参数,减少不确定性,提升产品一致性与质量。我们将深入探讨适用于半导体制造环境中的测量技术,帮助您实现更高效、更可靠的生产流程。
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维萨拉工业测量部产品应用工程师
• 半导体制造设备的环境监测挑战与趋势
• 先进的温湿度、露点和洁净室监测技术
• 维萨拉高精度测量解决方案如何助力工艺优化
• 实际案例分享,解析行业领先企业如何应对环境控制挑战
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